個(gè)人基本情況

廖廣蘭(Liao Guanglan，Professor)，男，華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院機(jī)械電子與信息工程系教授、博士生導(dǎo)師，中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)、中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員。2009年參與國家級(jí)教學(xué)團(tuán)隊(duì)《機(jī)械學(xué)科測(cè)控課程群教學(xué)團(tuán)隊(duì)》、2011年入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃、2012年獲得國家優(yōu)秀青年科學(xué)基金資助、2013年作為核心人員參加教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)《微納制造與納米測(cè)量技術(shù)》。近年來主要從事微納制造、微電子封裝及測(cè)試等方面的教學(xué)科研工作，主持5項(xiàng)國家自然科學(xué)基金委優(yōu)秀青年基金、面上項(xiàng)目、青年基金及對(duì)外交流與合作項(xiàng)目，參與國家973、863、重大專項(xiàng)項(xiàng)目等十余項(xiàng)，在ACS Nano、Nanoscale Research Letters、IEEE Trans.、Sensor Actuat A-phys等雜志發(fā)表學(xué)術(shù)論文百余篇，其中錄用和發(fā)表SCI刊源論文50余篇，多篇文章被Nature Photonics、Nano Lett.、Acs Nano等雜志引用。申請(qǐng)國家發(fā)明專利36項(xiàng)，獲得授權(quán)12項(xiàng)。

電話：027-87793103

郵箱：guanglan.liao@hust.edu.cn

教師主頁平臺(tái)：http://faculty.hust.edu.cn/liaoguanglan/zh_CN/index.htm

主要研究方向

微納制造與測(cè)試

微電子封裝

故障診斷

開設(shè)課程

《工程測(cè)試技術(shù)》

《微細(xì)加工與納米技術(shù)》

《軟件技術(shù)基礎(chǔ)》

《數(shù)據(jù)庫技術(shù)》

近年的科研項(xiàng)目、專著與論文、專利、獲獎(jiǎng)承擔(dān)的科研項(xiàng)目：

1. 國家自然科學(xué)基金委優(yōu)秀青年基金“仿生微納制造與應(yīng)用研究”(2013-2015)

2. 國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“染料敏化太陽能電池光陽極結(jié)構(gòu)的仿生設(shè)計(jì)與可控制備”(2012-2015)

3. 國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“熱/聲激勵(lì)的高密度超細(xì)間距倒裝焊缺陷診斷方法研究”(2010-2012)

4. 國家自然科學(xué)基金青年基金“MEMS封裝失效的診斷與預(yù)測(cè)方法研究”(2005-2007)

部分授權(quán)發(fā)明專利：

1. 一種硅濕法刻蝕工藝ZL 200510019052.4

2. 一種三維微型模具的制造方法ZL 200810047229.5

3. 一種短波長光輔助硅片直接鍵合方法ZL 200810047324.5

4. 一種芯片焊點(diǎn)缺陷在線檢測(cè)方法及裝置ZL 201010160537.6

5. 一種仿蝴蝶磷翅分級(jí)多層非對(duì)稱微納結(jié)構(gòu)的制備方法ZL 201010160958.9

6. 一種仿生微納結(jié)構(gòu)制備方法ZL 201010161272.1

7. 用于制造太陽能電池光陽極的方法及其產(chǎn)品ZL 201110421633.6

8. 一種仿壁虎腳結(jié)構(gòu)材料制造工藝ZL 201210168024.9

9. 一種太陽能電池光陽極的微納復(fù)合結(jié)構(gòu)及其制備方法ZL 201210179386.8

10. 一種磁場(chǎng)輔助的硅微納加工工藝及裝備ZL 201210192208.9

11. 一種擴(kuò)散焊制備多層非晶合金與晶態(tài)金屬復(fù)合結(jié)構(gòu)的方法ZL 201210388962.X

12. 一種微米管制造工藝ZL 201310025430.4

榮譽(yù)與獎(jiǎng)勵(lì)：

1. 2009年參與國家級(jí)教學(xué)團(tuán)隊(duì)《機(jī)械學(xué)科測(cè)控課程群教學(xué)團(tuán)隊(duì)》

2. 2011年入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃

3. 2012年獲得華中科技大學(xué)第三屆研究生導(dǎo)師“治學(xué)楷模”師表獎(jiǎng)

4. 2012年獲得國家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金

5. 2012年被聘為華中學(xué)者“晨星崗”

6. 2013年作為核心人員參加“微納制造與納米測(cè)量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)

代表性著作：

1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169

2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341

3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006.

4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373

5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290