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張澤洪
單位:中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
地址:江蘇省蘇州工業(yè)園區(qū)若水路398號(hào)
郵編:215123
電話:0512-62872725
個(gè)人主頁(yè):http://sourcedb.sinano.cas.cn/zw/zjrck/201109/t20110926_3354280.html
個(gè)人簡(jiǎn)歷 Personalresume
1999年清華大學(xué)本科畢業(yè),2002年中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所碩士畢業(yè),2005年美國(guó)UniversityofSouthCarolina大學(xué)博士畢業(yè),并從事博士后工作。2006年任職美國(guó)硅谷應(yīng)用材料公司AppliedMaterial,Inc,任資深關(guān)鍵客戶技術(shù)師。2011年,加入中科院蘇州納米所,受聘為研究員(百人計(jì)劃/青年****)、博士生導(dǎo)師。美國(guó)UniversityofSouthCarolina寬帶隙半導(dǎo)體組是世界頂尖的研究SiC和GaN材料和器件的實(shí)驗(yàn)室。該實(shí)驗(yàn)室的SiC研究曾經(jīng)得到經(jīng)費(fèi)支持累計(jì)約1800萬(wàn)美元。在該組攻讀博士和博士后期間,主要從事SiC外延CVD設(shè)備的研制,工藝開(kāi)發(fā),位錯(cuò)分析及器件測(cè)試。在期刊和國(guó)際會(huì)議文集上發(fā)表第一作者論文十余篇,其中4篇發(fā)表在Appl.Phys.Lett.上。應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和太陽(yáng)能設(shè)備提供商。在應(yīng)用材料任職期間,曽為多名關(guān)鍵客戶,包括德國(guó)原AMD,新加坡特許半導(dǎo)體,IBM,臺(tái)灣南亞,華亞,華邦,力晶、瑞晶,奇夢(mèng)達(dá),美光,臺(tái)積電等提供大規(guī)模集成電路制造用設(shè)備和工藝技術(shù)。曾經(jīng)負(fù)責(zé)過(guò)的設(shè)備產(chǎn)品包括MOCVD,CVD,PVD,ALD,PEALD,Preclean等。
研究方向 Researchdirection
1、半導(dǎo)體材料與器件物理
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